场发射扫描电镜(FESEM)

  

  

  生产厂商:日立S-4700 

  仪器性能指标 

  加速电压:0.5-30KV 

  束流:  1pA-2nA 

  放大倍率:20-500000; 

  二次电子成像分辨率: 

  1)二次电子成像分辨率2.1nm1KV,工作距离W.D. 1.5mm); 

  21.5nm15KV,工作距离W.D.12mmEDX分析位置) 

  放大倍率:25-500000 

  极限真空度:10-10mbar10-8Pa); 

  工作真空度:10-8~10-9mbar10-6~10-7 Pa 

  能谱仪(EDS) 

  生产厂商:英国牛津 

  分辨率(MnKa):~133eV  

  探测元素范围:B5U92 

  分辨率: Mn Kα处,优于136eV2.1nm 

  场发射扫描电子显微镜(FESEM)是电子显微镜的一种。该仪器具有超高分辨率,能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子像观察及图像处理。 具有高性能x射线能谱仪,能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力。主要用于观测:纳米材料显微结构、尺寸及相互作用;材料微结构、相组成及相分布;材料中元素定性分析、定量分析、线分析、面分析;材料实效分析。配有能谱仪(EDX型号:IE250,用于成分分析。