可变霍尔测试系统

  

  

  生产厂商:MMR M75-25/6R  

  仪器性能指标:

  最大样品尺寸: 1.1cm – 1.5cm 

  薄膜厚度: 0.01um-2000um 

  温度范围: 273-700K 

  升降温速率: 小于15K/s 

  磁场:0-14000G 

  真空度:小于等16mtorr 

  霍尔测试系统是用于测量半导体材料的体载流子浓度(Bulk Carrier Concentration)、表面载流子浓度(Sheet Carrier Concentration)、迁移率(Mobility)、电阻率(Resistivity)、霍尔系数(Hall Coefficient)、等重要参数。而这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌控的,其原理主要依据范德堡法则,因此是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性必备的工具。利用HALL效应,加一定量的磁场,可测得载流子偏移量、浓度和类型。利用四探针测得电阻率和电阻,通过H-50温度控制模块可检测与控制工作温度,利用K20温控设备可实现常温到200K以下的变温。工作温度从70K-730K