Karl-Suss MJB3-UV400 光刻机

  

 

  SUSSMJB3Karl-Suss公司早年广受欢迎的手动光刻机。操作方便,占地面积小,是实验室研究的理想设备。作为经济型光刻解决方案,MJB3针对直径达100mm的小尺寸基片工艺确立了一套工业标准。MJB3配有高可靠和高精度的对准系统,同时具备亚微米量级的高分辨率图形转移能力。能够完成高分辨率掩模对准光刻,特征尺寸优于1微米;装配SUSS的单视场显微镜,实现快速准确对准;针对厚胶工艺进行优化的高分辨光学系统。