Oxford ICP-180电感耦合等离子增强反应刻蚀机

  

 

  电感耦合等离子增强反应刻蚀,通入反应气体使用电感耦合等离子体辉光放电使其分解,产生的具有强化学活性的等离子体在电场加速作用下移动到样品表面,对样品表面进行化学反应生成挥发气体,又有一定的物理刻蚀作用。因为等离子体源与射频加速源分离,所以等离子体密度可以更高,加速能力也可以加强,以得到更高的刻蚀速率,更好的各向异性刻蚀。该系统使用了CL基,Br基以及甲烷等的刻蚀气体,适用于于对III-V族化合物材料进行刻蚀。