研究室主任
  
    

  欧欣, 研究员,博士生导师,高端硅基材料与集成器件实验室主任

  2009年博士毕业于中科院上海微系统与信息技术研究所,微电子学与固体电子学专业, 2007年至2009年攻读博士期间,在德国德累斯顿(FZD)研究中心联合培养。2009年至2014年底先后在德国马普微结构物理研究所和德国亥姆霍兹德累斯顿(HZDR)研究中心从事研究工作。2015年通过中科院高层次人才项目引进回到中科院上海微系统所信息功能材料国家重点实验室工作,任研究员。2019年任高端硅基材料与集成器件实验室(第七实验室)副主任,2022年任高端硅基材料与集成器件实验室(第七实验室)主任。

       
欧欣研究员主要从事先进SOI材料、离子注入技术、异质集成XOI材料与器件研究。