获奖
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获奖名称 主要完成人 获奖类别
微机械空燃比传感器和生物传感器 中科院科技进步奖
氧传感器微型化基础技术研究及其在医学和环保中的应用 上海市科技进步奖
InP基OEIC结构的GSMBE直接生长与物理研究 上海市科技进步奖
中远红外波段AlInAs/GaInAs/InP量子级联激光器材料 上海市科技进步奖
用离子束技术改善人工心脏瓣膜材料的抗凝血性能研究 上海市科技进步奖
光通信用微光机电关键技术 上海市科技进步二等奖
“创新一号”低轨通信小卫星 上海市科技进步奖
CD-ROM/DVD马达驱动电路系列开发 上海市科技进步奖
“创新一号”低轨通信小卫星 国家科技进步奖
高端硅基SOI材料研究和产业化 上海市科技进步奖
高性能硅微机械高冲击加速度传感器关键技术 上海市科技进步奖
生物芯片系统研究与应用 上海市科技进步奖
创新一号小卫星系统研究集体 中国科学院杰出科技成就奖
高端硅基SOI材料研究和产业化 国家科技进步奖
微波射频宽带MMIC芯片技术及其在交通信息采集雷达中的应用 上海市科技进步奖
高端硅基SOI材料研究集体 中国科学院杰出科技成就奖
MEMS关键设计与制造技术及应用 上海市科学技术发明奖