化合物半导体微结构与器件在红外遥感、环境健康安全、无线通信和光通信、智能交通和红外对抗等光电子和微波毫米波系统中具有重要的应用。

微系统所的主要科研成果有：中红外可调谐分布反馈量子及联激光器可高于室温脉冲工作，应用于痕量气体检测等；2mm波段锑化物量子阱激光器可高于室温连续工作，具有单模可调谐特性；短波红外（1-3μm）波段InGaAs探测器材料与器件，应用于红外遥感和激光雷达等；研制出2-4英寸InP基及GaAs基含磷化合物异质结双极晶体管（HBT）外延材料。